1、按照氣體流量規(guī)格有0.5-150m3/min。

2、過濾器材質：不銹鋼SUS304,SUS316L，結構合理，外觀美觀，內外鏡面拋光，符合GMP及電子行業(yè)要求。

3、密封圈材質：丁晴橡膠，氟橡膠，硅橡膠NBR, Viton, silastic/4、常規(guī)濾芯：PP熔噴、PP聚丙烯微孔折疊濾芯、疏水型聚四氟乙烯PTFE、不銹鋼濾芯、鈦棒濾芯（TB），聚醚砜（PES）等（視濾芯可定）

5、標準進出液口形式：側入底出式，管道采用公稱規(guī)格PN10，PN16，PN20/HG20592-09執(zhí)行標準。

6、工作壓力：0.6 Mpa-1.0Mpa設計壓力：1.0Mpa，1.6Mpa，2.0Mpa

7、鎖緊方式：吊環(huán)螺栓，高壓對穿螺栓，快裝卡箍式

8、排氣口：1/4"壓力表：1/4"

9、進出口連接方式：法蘭、螺紋、快裝。

10、常規(guī)表面處理：鏡面拋光，表面噴砂